Zemin kaplamaları
Yarı iletken endüstrisi için tasarlanmış zemin kaplama sistemleri, kontrollü sıcaklık ve nem koşulları altında istikrarını korurken, elektrostatik deşarj (ESD) koruması, temiz oda uyumluluğu ve agresif kimyasallara karşı direnç sağlamalıdır.
Yarıiletken üretim tesislerinde zemin kaplamaları için temel kriterler, dayanıklılık, bakım kolaylığı ve statik elektrik kontrolüdür; bu sayede zemin kaplamasının yoğun yaya trafiğine ve ekipman hareketlerine dayanabilmesi sağlanır. Dikişsiz, gözeneksiz bir yüzey hijyen ve kontaminasyon kontrolünü desteklerken, kayma direnci işçi güvenliğini artırır.
Yardımcı Alanlar İçin Zemin Kaplama Kriterleri
Bu tür tesislerde dikkate alınması gereken başlıca alanlar arasında soğutma kuleleri ve fan platformları, alt FAB’ler, gaz platformları, yükleme ve atık bölgeleri, kimyasal sızıntı önleme alanları, hendekler ve zemin giderleri ile mekanik/tesis odaları yer almaktadır.
Bu odalarda karşılaşılan tipik
riskler arasında forklift ve palet trafiğinden kaynaklanan aşınmalar, noktasal darbelere maruz kalma, termal şok, güçlü kimyasallarla sık sık yapılan ıslak temizlik, kimyasal dökülmeler ve daha pek çok unsur yer almaktadır.
Hizmet alanları için temel kriterler:
•
Dayanıklılık • Darbe
direnci • Kimyasal direnç •
Termal şok direnci •
Kayma direnci •
Dikişsiz • Havadan kaynaklanan moleküler
kirlenmenin kontrolü
Temiz Odalar İçin Zemin Kaplama Kriterleri
Temiz odalar, yarı iletken üretim tesislerinin (fab) temel bileşenlerinden biridir ve sıkı bir hava kalitesi kontrolü gerektirir. Başlıca riskler arasında katı kontaminasyon eşikleri, ESD hassasiyeti, kimyasal temizlik gereklilikleri,
CMP çamurunun neden olduğu lekelenme, AMC sınırlamaları ve IPA mendilleri gibi sık solvent kullanımı yer alır. Bu alanlardaki zemin sistemleri, çok düşük VOC (uçucu organik bileşikler) emisyonuna sahip olmalı, son derece sağlam olmalı ve kimyasal maruziyete dayanacak, partikül oluşumunu önleyecek ve hassas elektronik bileşenleri korumak için güvenilir statik kontrol sağlayacak şekilde tasarlanmalıdır.
Ayrıca, bakım protokolleri ve malzeme uyumluluğu, temiz odaların performansını zaman içinde optimum seviyede tutmak için kritik öneme sahiptir.
Temiz odalar için temel kriterler:
• Partikül kontrolü ve
temizlenebilirlik • ESD
kontrolü • Havada bulunan moleküler kirlenmenin kontrolü •
Düzlük ve
dikişsizlik • Kimyasal direnç •
Parlaklık ve
görsel özellikler • Düşük VOC emisyonları
