Posadzki żywiczne
Systemy podłogowe dla przemysłu półprzewodnikowego muszą zapewniać skuteczną ochronę przed wyładowaniami elektrostatycznymi (ESD), spełniać wymagania pomieszczeń czystych oraz wykazywać wysoką odporność na działanie agresywnych substancji chemicznych. Jednocześnie powinny zachowywać stabilność i niezawodność działania w ściśle kontrolowanych warunkach temperatury i wilgotności.
Kluczowymi wymaganiami stawianymi posadzkom w zakładach produkcji półprzewodników są trwałość, łatwość utrzymania oraz skuteczna kontrola wyładowań elektrostatycznych (ESD). Dzięki temu posadzka chroni wrażliwe urządzenia elektroniczne i personel, a jej bezspoinowa i nieporowata powierzchnia ułatwia utrzymanie czystości, wspierając kontrolę zanieczyszczeń i spełnienie rygorystycznych wymagań środowiska produkcyjnego.
Kryteria dotyczące podłóg w pomieszczeniach technicznych
Pomieszczenia techniczne, w których posadzka narażona jest na szczególne obciążenia to: wieże chłodnicze i platformy wentylatorowe, pomieszczenia pomocnicze (sub-FAB), platformy gazowe, strefy załadunku i utylizacji odpadów, strefy zabezpieczające przed wyciekiem substancji chemicznych, rowy i odpływy podłogowe oraz zaplecza i maszynownie.
Posadzka w pomieszczeniach technicznych podlega obciążeniom mechanicznym spowodowanym ruchem wózków widłowych i palet, uderzeniom punktowym oraz obciążeniom termicznym i chemicznym, jak duże różnice temperatur, częste czyszczenie na mokro przy użyciu silnych środków chemicznych, wycieki substancji i wiele innych.
Główne kryteria dotyczące powierzchni użytkowych:
• Trwałość
• Odporność na uderzenia
• Odporność chemiczna
• Odporność na szok termiczny
• Odporność na poślizg
• Bezspoinowość
• Kontrola zanieczyszczeń molekularnych przenoszonych w powietrzu
Kryteria dotyczące podłóg w pomieszczeniach czystych
Pomieszczenia czyste są kluczowym elementem zakładów produkcji półprzewodników, ponieważ wymagają stałej kontroli jakości powietrza i poziomu zanieczyszczeń. W takich środowiskach szczególne znaczenie mają ograniczenie liczby cząstek unoszących się w powietrzu, ochrona przed wyładowaniami elektrostatycznymi (ESD), odporność na stosowane środki chemiczne oraz możliwość regularnego czyszczenia i dezynfekcji. Dodatkowym wyzwaniem są substancje wykorzystywane w procesach produkcyjnych, takie jak zawiesiny CMP czy rozpuszczalniki na bazie alkoholu izopropylowego (IPA).
Systemy podłogowe stosowane w pomieszczeniach czystych muszą charakteryzować się bardzo niską emisją lotnych związków organicznych (VOC), wysoką odpornością chemiczną oraz trwałością w warunkach intensywnej eksploatacji. Ważne jest również, aby nie generowały cząstek mogących zanieczyścić środowisko produkcyjne oraz zapewniały skuteczną kontrolę wyładowań elektrostatycznych, chroniąc wrażliwe komponenty elektroniczne.
Równie istotne są odpowiednio dobrane procedury konserwacji oraz kompatybilność stosowanych materiałów, które pomagają utrzymać wymagany poziom czystości i niezawodność pomieszczeń czystych przez cały okres ich użytkowania.
Główne kryteria dotyczące pomieszczeń czystych:
• Kontrola cząstek i łatwość czyszczenia
• Kontrola wyładowań elektrostatycznych (ESD)
• Kontrola zanieczyszczeń molekularnych w powietrzu
• Bezspoinowość
• Odporność chemiczna
• Niska emisja lotnych związków organicznych (VOC)
