Golvv
Golvsystem för halvledarindustrin behöver ge skydd mot elektrostatisk urladdning (ESD), uppfylla renrumskraven och tåla aggressiva kemikalier. Samtidigt ska de bibehålla sina egenskaper under noggrant kontrollerade temperatur- och luftfuktighetsförhållanden.
Viktiga krav på golv i anläggningar för halvledartillverkning är hög slitstyrka, enkelt underhåll och tillförlitlig kontroll av statisk elektricitet. Golven behöver tåla intensiv gångtrafik och återkommande förflyttning av utrustning. En fogfri och porfri yta underlättar rengöringen och bidrar till kontamineringskontrollen, medan halksäkra egenskaper skapar en säkrare arbetsmiljö.
Krav på golv i teknik- och försörjningsutrymmen
I den här typen av anläggningar finns flera krävande teknik- och försörjningsutrymmen, exempelvis kyltorn, fläktplattformar, sub-FAB-utrymmen, gasområden, last- och avfallszoner, utrymmen för kemikaliehantering, diken och kulvertar samt maskin- och teknikrum.
Golven kan utsättas för bland annat slitage från gaffeltruckar och pallyftare, höga punktlaster, termiska chocker, frekvent rengöring med starka kemikalier och kemikaliespill.
Viktiga krav på golvsystem i dessa utrymmen är:
- Hög slitstyrka
- Slagtålighet
- Kemikaliebeständighet
- Beständighet mot termiska chocker
- Halksäkerhet
- Fogfri yta
- Låga emissioner för att begränsa luftburen molekylär kontaminering
Krav på golv i renrum
Renrum är centrala i halvledartillverkningen och kräver noggrann kontroll av luftkvaliteten. Golvsystemen måste uppfylla högt ställda krav på kontamineringskontroll, ESD-skydd, kemikaliebeständighet och rengörbarhet. De behöver bland annat tåla spill av CMP-suspensioner, kemisk rengöring, lösningsmedel och frekvent användning av IPA-baserade rengöringsmedel.
Golven ska ha mycket låga utsläpp av flyktiga organiska föreningar (VOC) och bidra till att begränsa luftburen molekylär kontaminering (AMC). De måste samtidigt vara robusta, tåla kemisk påverkan, motverka partikelbildning och ge tillförlitlig kontroll av statisk elektricitet för att skydda känsliga elektroniska komponenter.
Noggranna underhållsrutiner och kompatibilitet mellan golvsystem, rengöringsmedel och övriga material är dessutom avgörande för att renrummet ska behålla sin funktion över tid.
Viktiga krav på golv i renrum:
- Effektiv partikelkontroll och god rengörbarhet
- ESD-skydd
- Begränsning av luftburen molekylär kontaminering (AMC)
- Hög planhet och fogfri yta
- Kemikaliebeständighet
- Låga VOC-utsläpp
- Ett jämnt och tilltalande utseende
