Podlahy
Podlahové systémy určené pro polovodičový průmysl musí poskytovat ochranu před elektrostatickým výbojem (ESD), být kompatibilní s čistými prostory a odolné vůči agresivním chemikáliím, přičemž musí zachovávat stabilitu za kontrolovaných teplotních a vlhkostních podmínek.
Základními kritérii pro podlahové krytiny v továrnách na výrobu polovodičů jsou odolnost, snadná údržba a regulace statické elektřiny, což zaručuje, že podlaha vydrží intenzivní pěší provoz i přesuny zařízení. Bezešvý, neporézní povrch přispívá k hygieně a kontrole kontaminace, zatímco protiskluzové vlastnosti zvyšují bezpečnost pracovníků.
Kritéria pro podlahové krytiny v technických prostorách
V takových zařízeních patří mezi klíčové oblasti, které je třeba zohlednit, chladicí věže a ventilátorové plošiny, pomocné výrobní prostory (sub-FAB), plynové plošiny, nakládací a odpadní zóny, prostory pro zadržování chemikálií, příkopy a podlahové odtoky a technické místnosti.
Mezi typická rizika v těchto prostorách patří oděrky způsobené provozem vysokozdvižných vozíků a palet, bodové nárazy, teplotní šoky, časté mokré čištění pomocí silných chemikálií, úniky chemikálií a mnoho dalších.
Hlavní kritéria pro užitkové prostory:
•
Trvanlivost •
Odolnost proti nárazům • Chemická
odolnost •
Odolnost proti teplotním šokům • Protiskluznost •
Bezešvé provedení • Kontrola
kontaminace molekulami přenášenými vzduchem
Kritéria pro podlahové krytiny v čistých prostorách
Čisté prostory jsou klíčovou součástí výrobních závodů a vyžadují přísnou kontrolu kvality vzduchu. Mezi hlavní rizika patří přísné limity kontaminace, citlivost na elektrostatický výboj (ESD), požadavky na chemické čištění, skvrny od
CMP suspenze, omezení týkající se částicové kontaminace (AMC) a časté používání rozpouštědel, jako jsou utěrky s IPA. Podlahové systémy v těchto prostorech musí vykazovat velmi nízké emise VOC (těkavých organických sloučenin), být mimořádně odolné a konstruované tak, aby odolávaly působení chemikálií, zabraňovaly tvorbě částic a zajišťovaly spolehlivou kontrolu statické elektřiny pro ochranu citlivých elektronických součástek.
Kromě toho jsou pro udržení optimálního výkonu čistých prostor v průběhu času zásadní protokoly údržby a kompatibilita materiálů.
Hlavní kritéria pro čisté prostory:
• Kontrola částic a snadná
čistitelnost •
Kontrola elektrostatického výboje (ESD) •
Kontrola molekulární kontaminace ve vzduchu • Rovinnost a bezešvost •
Chemická odolnost •
Lesk a
vizuální vzhled • Nízké emise těkavých organických látek (VOC)
