Vloeren
Vloersystemen die zijn ontworpen voor de halfgeleiderindustrie moeten bescherming bieden tegen elektrostatische ontladingen (ESD), geschikt zijn voor gebruik in cleanrooms en bestand zijn tegen agressieve chemicaliën, terwijl ze onder gecontroleerde temperatuur- en vochtigheidsomstandigheden stabiel blijven.
Essentiële criteria voor vloeren in halfgeleiderfabrieken zijn duurzaamheid, onderhoudsgemak en beheersing van statische elektriciteit, zodat de vloer bestand is tegen intensief loopverkeer en het verplaatsen van apparatuur. Een naadloos, niet-poreus oppervlak draagt bij aan de hygiëne en de beheersing van verontreiniging, terwijl de slipweerstand de veiligheid van het personeel vergroot.
Vereisten voor vloeren in bijruimten
In dergelijke faciliteiten zijn koeltorens en ventilatorplatforms, sub-FAB’s, gasplatforms, laad- en afvalzones, zones voor het opslaan van chemicaliën, sleuven en vloerafvoeren, en technische ruimtes belangrijke aandachtspunten.
Tot
de typische risico’s in deze ruimtes behoren onder meer schuurwonden door het verkeer van vorkheftrucks en pallets, puntinslagen, thermische schokken, veelvuldig nat reinigen met krachtige chemicaliën, het morsen van chemicaliën en nog veel meer.
Belangrijkste criteria voor utiliteitsruimten:
•
Duurzaamheid• Slagvastheid•
Chemische bestendigheid•
Weerstand tegen thermische schokken• Slipvastheid•
Naadloos• Beheersing van moleculaire
verontreiniging uit de lucht
Vereisten voor vloeren in cleanrooms
Cleanrooms vormen een essentieel onderdeel van fabrieken en vereisen een strenge controle van de luchtkwaliteit. Belangrijke risico’s zijn onder meer strenge verontreinigingsdrempels, ESD-gevoeligheid, eisen op het gebied van chemische reiniging, vlekvorming door
CMP-slurry, beperkingen met betrekking tot AMC en veelvuldig gebruik van oplosmiddelen, zoals IPA-doekjes. Vloersystemen in deze ruimtes moeten een zeer lage uitstoot van VOS (vluchtige organische stoffen) hebben en uitzonderlijk robuust zijn. Ze moeten zo ontworpen zijn dat ze bestand zijn tegen blootstelling aan chemicaliën, het ontstaan van deeltjes voorkomen en betrouwbare statische controle bieden om gevoelige elektronische componenten te beschermen.
Bovendien zijn onderhoudsprotocollen en materiaalcompatibiliteit van cruciaal belang om de optimale prestaties van de cleanroom op lange termijn te waarborgen.
Belangrijkste criteria voor cleanrooms:
• Beheersing van deeltjes en
reinigbaarheid • ESD-beheersing •
Beheersing van moleculaire verontreiniging in de lucht •
Vlakheid en
naadloosheid • Chemische
bestendigheid • Glans en
uiterlijk • Lage VOS-emissies
