Bodenbeschichtungen
Bodenbeschichtungssysteme für die Halbleiterindustrie müssen Schutz vor elektrostatischer Entladung (ESD), Reinraumtauglichkeit und Beständigkeit gegen aggressive Chemikalien bieten und gleichzeitig unter kontrollierten Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen stabil bleiben.
Bodenbeschichtungen in Halbleiterfabriken müssen besonders langlebig, pflegeleicht und ableitfähig sein, um statische Elektrizität zuverlässig zu kontrollieren. Sie sollten hohen Belastungen durch Personenverkehr und den Transport schwerer Geräte standhalten. Eine nahtlose, porenfreie Oberfläche unterstützt zudem die Hygiene sowie die Kontaminationskontrolle, während rutschhemmende Eigenschaften zur Sicherheit der Mitarbeitenden beitragen.
Kriterien für Bodenbeläge in Hauswirtschaftsräumen
Zu den wichtigsten Bereichen, die in solchen Anlagen zu berücksichtigen sind, gehören Kühltürme und Lüfterplattformen, Sub-FABs, Gasanschlussplätze, Be- und Entladebereiche sowie Abfallzonen, Bereiche zur Eindämmung von Chemikalien, Gräben und Bodenabläufe sowie Maschinen- und Technikräume.
Zu
den typischen Risiken in diesen Räumen zählen Abrieb durch den Verkehr von Gabelstaplern und Paletten, punktuelle Stöße, Thermoschock, häufige Nassreinigung mit aggressiven Chemikalien, verschüttete Chemikalien und vieles mehr.
Wichtigste Kriterien für Nutzflächen:
•
Langlebigkeit • Schlagfestigkeit •
Chemikalienbeständigkeit •
Temperaturwechselbeständigkeit •
Rutschfestigkeit •
Nahtlos • Kontrolle der molekularen
Kontamination aus der Luft
Kriterien für Bodenbeläge in Reinräumen
Reinräume sind ein zentraler Bestandteil von Halbleiterfabriken und erfordern eine strenge Kontrolle der Luftqualität. Zu den wichtigsten Risiken zählen strenge Kontaminationsgrenzwerte, ESD-Empfindlichkeit, Anforderungen an die chemische Reinigung, Verfärbungen durch
CMP-Schlämme, AMC-Beschränkungen sowie der häufige Einsatz von Lösungsmitteln wie IPA-Tüchern. Bodenbeläge in diesen Räumen müssen sehr geringe VOC-Emissionen (flüchtige organische Verbindungen) aufweisen und außergewöhnlich robust sein. Sie müssen so konstruiert sein, dass sie chemischen Einflüssen standhalten, die Partikelbildung verhindern und eine zuverlässige Statikkontrolle gewährleisten, um empfindliche elektronische Bauteile zu schützen.
Darüber hinaus sind Wartungsprotokolle und Materialverträglichkeit entscheidend für die Aufrechterhaltung einer optimalen Reinraumleistung über einen langen Zeitraum.
Wichtigste Kriterien für Reinräume:
• Partikelkontrolle und
Reinigungsfähigkeit• ESD-Kontrolle•
Kontrolle der molekularen Luftverunreinigung•
Ebenheit und
Nahtlosigkeit• Chemische
Beständigkeit• Glanz und
Optik• Geringe VOC-Emissionen
