Revêtements de sol
Les systèmes de revêtement de sol destinés à l'industrie des semi-conducteurs doivent offrir une protection contre les décharges électrostatiques (ESD), être compatibles avec les salles blanches et résister aux produits chimiques agressifs, tout en conservant leur stabilité dans des conditions de température et d'humidité contrôlées.
Les critères essentiels pour les revêtements de sol dans les usines de semi-conducteurs sont la durabilité, la facilité d'entretien et le contrôle de l'électricité statique, afin de garantir que le revêtement puisse résister à un trafic piétonnier intense et aux déplacements d'équipements. Une surface sans joint et non poreuse favorise l'hygiène et le contrôle de la contamination, tandis que la résistance au glissement renforce la sécurité des travailleurs.
Critères relatifs aux revêtements de sol pour les locaux techniques
Dans ce type d'installations, les zones clés à prendre en compte comprennent notamment les tours de refroidissement et les plates-formes de ventilation, les sous-FAB, les aires de stockage de gaz, les zones de chargement et de déchets, les zones de confinement des produits chimiques, les tranchées et les siphons de sol, ainsi que les locaux techniques.
Les risques courants dans ces locaux comprennent les abrasions dues à la circulation des chariots élévateurs et des palettes, les chocs ponctuels, les chocs thermiques, les nettoyages humides fréquents à l'aide de produits chimiques puissants, les déversements de produits chimiques et bien d'autres encore.
Principaux critères applicables aux espaces techniques :
•
Durabilité •
Résistance aux chocs • Résistance aux produits chimiques •
Résistance aux chocs thermiques •
Antidérapance •
Sans soudure • Contrôle de la
contamination moléculaire en suspension dans l'air
Critères relatifs aux revêtements de sol pour les salles blanches
Les salles blanches constituent un élément essentiel des usines de fabrication et nécessitent un contrôle rigoureux de la qualité de l’air. Parmi les principaux risques figurent les seuils de contamination très stricts, la sensibilité aux décharges électrostatiques (ESD), les exigences en matière de nettoyage chimique, les taches causées par les suspensions
CMP, les contraintes liées aux particules en suspension (AMC) et l’utilisation fréquente de solvants, tels que les lingettes imprégnées d’IPA. Les revêtements de sol utilisés dans ces espaces doivent présenter de très faibles émissions de COV (composés organiques volatils) et être exceptionnellement robustes ; ils doivent être conçus pour résister à l’exposition aux produits chimiques, empêcher la génération de particules et offrir un contrôle fiable de l’électricité statique afin de protéger les composants électroniques sensibles.
De plus, les protocoles d’entretien et la compatibilité des matériaux sont essentiels pour maintenir des performances optimales de la salle blanche au fil du temps.
Principaux critères applicables aux salles blanches :
• Contrôle des particules et facilité de
nettoyage •
Contrôle des décharges électrostatiques (ESD) • Contrôle de la contamination moléculaire en suspension dans l’air •
Planéité et absence de
joints • Résistance aux produits chimiques •
Brillance et aspect
visuel • Faibles émissions de COV
