Suelos
Los sistemas de suelo diseñados para la industria de los semiconductores deben ofrecer protección contra descargas electrostáticas (ESD), ser compatibles con salas blancas y resistir productos químicos agresivos, al tiempo que se mantienen estables en condiciones controladas de temperatura y humedad.
Los criterios esenciales para los suelos de las fábricas de semiconductores son la durabilidad, la facilidad de mantenimiento y el control de la electricidad estática, lo que garantiza que el suelo pueda soportar un tráfico peatonal intenso y el desplazamiento de equipos. Una superficie sin juntas y no porosa favorece la higiene y el control de la contaminación, mientras que la resistencia al deslizamiento mejora la seguridad de los trabajadores.
Criterios para el suelo de las zonas de servicio
En este tipo de instalaciones, entre las zonas clave que hay que tener en cuenta se incluyen las torres de refrigeración y las plataformas de ventilación, las sub-FAB, las plataformas de gas, las zonas de carga y residuos, las áreas de contención de productos químicos, las zanjas y los desagües del suelo, así como las salas de máquinas y de instalaciones.
Entre
los riesgos habituales en estas salas se incluyen las abrasiones provocadas por el tráfico de carretillas elevadoras y palés, los impactos puntuales, los choques térmicos, la limpieza en húmedo frecuente con productos químicos potentes, los derrames de productos químicos y muchos otros.
Criterios principales para las zonas de servicio:
•
Durabilidad •
Resistencia a los impactos • Resistencia química •
Resistencia a los choques térmicos •
Resistencia al deslizamiento •
Sin costuras • Control de la
contaminación molecular en el aire
Criterios relativos a los suelos de las salas blancas
Las salas blancas son un componente fundamental de las fábricas de semiconductores y exigen un control riguroso de la calidad del aire. Entre los principales riesgos se incluyen los estrictos umbrales de contaminación, la sensibilidad a las descargas electrostáticas (ESD), los requisitos de limpieza química, las manchas causadas por las suspensiones de
CMP, las limitaciones de AMC y el uso frecuente de disolventes, como las toallitas con IPA. Los sistemas de pavimentación en estos espacios deben presentar emisiones muy bajas de COV (compuestos orgánicos volátiles) y ser excepcionalmente resistentes, además de estar diseñados para soportar la exposición a productos químicos, evitar la generación de partículas y proporcionar un control estático fiable que proteja los componentes electrónicos sensibles.
Además, los protocolos de mantenimiento y la compatibilidad de los materiales son fundamentales para mantener un rendimiento óptimo de la sala limpia a lo largo del tiempo.
Criterios principales para las salas blancas:
• Control de partículas y
facilidad de limpieza • Control de descargas electrostáticas (ESD) •
Control de la contaminación molecular en suspensión •
Planitud y ausencia de
juntas • Resistencia química •
Brillo y aspecto
visual • Bajas emisiones de COV
